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네이처에 실린 국내 연구진의 차세대 공정 '포토리소그래피'

국내 산학 연구팀이 미래 디스플레이 발전에 기여할 수 있는 유연하고 투명한 포토리소그래피 기술의 가능성을 입증했다. 포토리소그래피(Photolithography)는 반도체나 디스플레이를 제조하는 데 사용되는 공정이다. 이 공정은 적층된 실리콘 덩어리에 원하는 회로를 새겨 넣는 대량 생산에 용이하다. LG디스플레이와 연세대학교 심우영 교수(신소재공학과) 연구팀은 유연하고 투명한 타입의 초미세 패턴을 구현하는 포토리소그래피 연구 결과가 세계적인 과학저널 네이처 커뮤니케이션즈 최신호에 게재됐다고 2월13일 밝혔다. 이번 논문은 기존 공정에서는 불가능했던 크기의 초미세 패턴을 구현하는 포토리소그래피 기술 개발에 관한 것으로, 해당 기술은 LCD 뿐만 아니라 OLED에도 적용 가능하다. 연구팀은 딱딱한 형태인 기존 포토마스크(반도체나 IC 회로 제작을 위해 회로 배열이나 패턴을 담고 있는 투명기판) 한계를 극복하기 위해 유연하고 투명한 타입의 새로운...