반도체 업계는 최근 지속가능경영 측면에서 탄소배출량을 감축해야 하는 숙제를 안고 있다. 반도체 산업은 국내 전체 산업 가운데 온실가스 배출량 6위를 차지할 정도로 높다. 때문에 지구온난화에 적잖게 악영향을 준다는 비판을 받고 있다.

또 오늘날 글로벌 대기업들은 ‘탄소 중립’을 앞세우고 있다. 자사의 탄소배출을 줄일뿐 아니라 부품을 받는 공급사의 탄소배출 지표도 체크하고 있다. 이에 발 맞추기 위해서라도 반도체 업계는 온실가스를 감축하는 게 그 어느 때보다 중요해졌다.

이를 해결하기 위한 다양한 방법이 논의되고 있는데, 그중 핵심은 반도체 제조 공정에 쓰이는 각종 특수가스를 온실가스가 덜 발생하도록 만드는 것이다. 이런 면에서 특수가스의 탄소배출량 감축 연구가 활발히 이뤄지고 있는데, 최근 SK머티리얼즈과 관련 성과를 공개했다.

▲ (사진=SK머티리얼즈)
▲ (사진=SK머티리얼즈)

SK머티리얼즈는 20일 반도체 증착 공정에 쓰이는 육불화텅스텐(WF6)의 탄소배출량을 줄여 카본트러스트(Carbon Trust)의 ‘탄소발자국’ 인증을 받았다고 밝혔다.

SK에 따르면 WF6는 반도체 공정 중 금속 배선 공정에 사용한다. 화학반응을 통해 불소(F)는 날리고 텅스텐(W)을 웨이퍼 위로 증착시켜 배선을 형성한다. SK머티리얼즈는 WF6에서 세계 공급량의 35%를 담당하고 있다. 그룹 계열사인 SK하이닉스가 최대 고객사로 알려졌다.

▲ (자료=SK 채용 공식블로그 갈무리)
▲ (자료=SK 채용 공식블로그 갈무리)

SK머티리얼즈는 자사 WF6가 카본트러스트로부터 제품의 라이프사이클 전 과정에서 발생하는 탄소 배출량을 산정할 때 부여받는 ‘측정’ 인증과 탄소배출량을 감소시켰을 때 부여받는 ‘감축’ 인증을 동시에 받았다고 밝혔다. 또 SK머티리얼즈의 육불화텅스텐은 2020년 대비 2021년 약 5% 탄소 감축 실적을 인정받았다고 알렸다.

이규원 SK머티리얼즈 사장은 “이번 탄소발자국 인증은 지속 가능한 친환경 기업으로 나아가기 위한 의지와 노력을 인정받은 것”이라며 “앞으로도 환경과 기후위기에 효율적으로 대처하기 위한 다양한 과제들을 충실히 이행하겠다“고 밝혔다.

한편 SK머티리얼즈는 2020년 소재 산업 내 최초로 RE100(기업 사용 전력 100%를 재생에너지로 충당하는 캠페인)에 가입했다. 탄소 중립(넷제로·Net Zero)의 경우 국가에서 설정한 2050년보다 20년 빠른 2030년까지 달성을 선언하고 이를 실현하기 위한 로드맵도 발표했다

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